無塵室的適用范圍很廣,只要潔凈要求比較高的都會用到。今天我們就來為大家講述一下無塵室等級分類及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。
一、無塵室的等級說明
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應(yīng)以特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。
二、無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)
據(jù)查詢無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)的版本較多,于是小編就整理兩個較常用的劃分標(biāo)準(zhǔn),分別是國際標(biāo)準(zhǔn) IOS14 ** 4-1、中國標(biāo)準(zhǔn) GB/T16292-1996,具體詳情請看下表:
空氣潔凈度分級標(biāo)準(zhǔn):IOS14 ** 4-1(國際標(biāo)準(zhǔn))
空氣潔凈度分級標(biāo)準(zhǔn):GB/T16292-1996(中國標(biāo)準(zhǔn))
三、無塵室標(biāo)準(zhǔn)分類
>>>亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,無塵室擴充比較容易,在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,欲達要求的潔凈度,需耗時相當(dāng)長一段時間。
>>>層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于無塵室等級需求較高的環(huán)境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。
其型式可分為二種:
?無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般下流側(cè)污染較嚴重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
?無塵車間垂直層流式:房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔凈度,在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外并不會影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。
>>>復(fù)合式(Mixed Type):
復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用,可提供局部超潔凈空氣。
●無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:彈性擴充容易、維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
●無塵車間潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品及半導(dǎo)體均適用。
●無塵車間并裝局部無塵室(Clean Spot):將亂流無塵室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,為生產(chǎn)用。
四、無塵室的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)
若想檢驗無塵室是否達到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個方面考慮:
>>>遮蔽率
Air Change:FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/無塵室體積
HEPA遮蔽率:FFU的表面積*FFU數(shù)量/無塵室面積
>>>風(fēng)速、溫濕度
氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)
一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃
一般濕度控制范圍:(45±5)%RH
>>>壓差
在兩個無塵室間合理的設(shè)計壓力差應(yīng)為10Pa,而在無塵室和未確認潔凈等級的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實際困難時,維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。
>>>構(gòu)成要求
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕
B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子
C.吸濕性小
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高
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